与其它喷射器一样，蒸汽喷射器同样是基于文丘里效应。

在运行中，蒸汽通过膨胀喷嘴，将压力能转换为动能并产生真空， 从而引射空气，气体和蒸汽的混合物，进入文丘里扩散器，经过动量交换，动力蒸汽的动能转换为混合介质的压力能，并达到预定背压。

射流真空喷射器可以使用不锈钢、蒙乃尔合金、哈氏合金、钛、青铜等多种材质。 也可以是由多种非金属制成，如石墨和聚四氟乙烯等。

真空喷射机组的级数，取决于所要求的真空度，以及经济性要求。

蒸汽喷射真空机组通常由多级喷射器和冷凝器组成。冷凝器的设置可以将引射介质中的蒸汽负荷冷凝， 大幅降低下一级喷射器的引射负荷，从而降低动力蒸汽的消耗，也缩小设备的制造及安装尺寸，达到良好的投资和运行经济性。

对于小型喷射机组，动力消耗量很少的情形，可以考虑较少的级数，甚至可以不需要冷凝器。喷射器直接串联，不需要中间冷凝器的，被称为非冷凝型真空机组。